(一)、低溫等離子凈化器的產生方式及選擇
低溫等離子凈化器光催化結合等離子去除污染物的過程中，反應器的結構設計是一個主要內容，因此需要對等離子的產生方式進行分析和選擇。
等離子體的狀態(tài)主要取決于組成粒子、粒子密度和粒子溫度。通常，可以令電子溫度為Te，離子溫度Ti，中性粒子為Tg，考慮到“熱容”，等離子體的宏觀溫度當取決于重粒子的溫度。依據等離子體的粒子溫度，可以把等離子體分為兩大類，即熱平衡等離子體和非熱平衡等離子體。
熱平衡等離子體：當Te=Ti時，稱為熱平衡等離子體(equilibriumplasma)，簡稱熱等離子(高溫等離子體，thermalplasma)。由于等離子體輻射的緣故，各種粒子的組成也接近平衡組溫度，幾乎近似相等(Te=Ti=Tg)。熱等離子體的特征是能量密度很高，重粒子溫度與電子溫度相近，通常為數量級為1擴-2X10皺，各種粒子的反應活性都很高。
非熱平衡等離子體：當Te>Ti時，成為非平衡態(tài)的等離子體(Non-thermalequilibriumplasma)。其電子溫度高達104K以上，而離子和原子之類的重離子溫度可低到3OOK-SOOK，因此成為低溫等離子體(Non-thermalplasma)或冷等離子體(Coldplasma)。其特征為能量密度低，重離子溫度接近室溫而電子溫度高，電子與離子有很高的反應活性，隨技術的口益成熟，非平衡態(tài)的等離子體應用的越來越多。
相對熱平衡等離子體而言，非平衡態(tài)等離子體電子溫度有足夠高的能量使反應物分子激發(fā)、離解和電離，同時反應體系又可以保持低溫，乃至接近室溫。
(二)、等離子凈化器廢氣處理技術
等離子凈化器廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質處理，后延伸至工業(yè)惡臭、異味、氣體處理。該技術節(jié)能、環(huán)保，應用范圍廣，所有化工生產環(huán)節(jié)產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的效果。
等離子體工業(yè)廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生，等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使氣體達到低毒化、化，保護人類生存環(huán)境。由于其對污染物分子的且處理能耗低等特點，為工業(yè)廢氣處理開辟了一條新的思路。